选择匀胶机时,有哪些方面需要注意的?
基材应在分配之前达到所需的转速。墨水应尽可能靠近基材的中心沉积,以防止中间出现间隙。墨水应以快速而平稳的动作、一滴且仅一滴的方式沉积,避免多次涂层。移液器吸头不应接触旋转的基板,以避免改变表面特性或损坏其他层。注意事项:当使用低于1000rpm的低旋转速度或非常粘稠的溶液时,获得完整的基材覆盖可能变得困难。
在性能指标方面,匀胶机的腔体尺寸为15英寸,适合直径在10-200mm之间的材料。其转动速度可达0-12,000rpm,旋涂加速度为0-30000rpm/sec(空载)。匀胶机的马达旋涂转速稳定性能误差小于±1%,转速调节精度小于0.2rpm,重复性小于0.2rpm。工艺时间设定范围广泛,从1秒到5999秒,精度达到0.1秒。
所需材料与设备包括:安全眼镜、手套、镊子、培养皿、移液管、勺子、杯子、刀片、手术刀、铝箔等基本工具。通风橱、高精度天平、机械搅拌机、真空干燥机、匀胶机、手动打孔机、双目显微镜、烘箱/热板、氧气等离子体等设备。主要材料有Sylgard 184硅基、Sylgard固化剂以及硅烷化剂TMCS(三甲基氯硅烷)。